Титанова обертова циліндрична мішень

Це компонент, який використовується в процесах фізичного осадження з парової фази (PVD), який є методом осадження тонких плівок матеріалу на підкладку. Мішень із титанової трубки виготовлена ​​з чистого титану та має форму циліндра, який обертається під час процесу PVD.

Процес PVD працює за допомогою електричної дуги або магнетронного розпилення для випаровування матеріалу мішені, в даному випадку титану, і нанесення його у вигляді тонкої плівки на підкладку. Циліндрична мішень, що обертається, забезпечує більш рівномірне нанесення титанової плівки на підкладку.

Переваги використання в процесах PVD включають високу чистоту нанесеної плівки, високу швидкість осадження та покращену адгезію плівки. Титанові поворотні мішені для магнетронного розпилення виготовлені з високоякісного титанового матеріалу та розроблені таким чином, щоб витримувати високі температури та механічні навантаження під час процесу PVD.

Специфікація Введення

Нормальний тип розміру:

Наша перевага

Титанові мішені, які ми постачаємо, мають дрібні зерна, рівномірний розподіл, високу чистоту, невелику кількість включень і високу чистоту. Нанесена плівка TiN використовується в декораціях, інструментах, напівпровідниках та інших галузях з хорошою адгезією, рівномірним покриттям і яскравими кольорами.

--Чистота

Щоб створити якісну титанову мішень для напилення, чистота є одним із важливих показників ефективності. Чистота титанової мішені має великий вплив на ефективність напилення покриття. Чим вища чистота титанової мішені, тим менше частинок домішок у напиленій титановій плівці, що призводить до кращих характеристик PVD-покриття, включаючи кращу стійкість до корозії та електричні та оптичні властивості. Однак у практичних застосуваннях титанові мішені для різних цілей мають різні вимоги до чистоти. Матеріал мішені використовується як джерело катода при напиленні, а домішкові елементи та пористість включення в матеріалі є основними джерелами забруднення нанесеної плівки. Включення пористості будуть в основному видалені під час неруйнівного контролю злитка, а включення пористості, які не будуть видалені, спричинять розряд під час процесу напилення, тим самим впливаючи на якість плівки; вміст домішкових елементів можна відобразити лише в результатах випробування повного елементного аналізу, чим нижчий загальний вміст домішок, тим вище чистота титанової мішені.

--Щільність

Щільність також є важливим фактором у вимірюванні якості титанових мішеней. Щоб зменшити пористість твердої речовини мішені та покращити характеристики напиленої плівки, мішень зазвичай повинна мати вищу щільність.

Щільність мішені впливає не тільки на швидкість розпилення, а й на електричні та оптичні властивості плівки. Чим вища цільова щільність, тим кращі характеристики плівки. Крім того, збільшення щільності та міцності мішені дозволяє мішені краще протистояти термічним навантаженням під час напилення. Щільність також є одним з ключових показників ефективності мішені.

--Розмір часток і їх розподіл

Як правило, мішені для розпилення являють собою полікристалічні структури з розміром зерен порядку від кількох мікрометрів до кількох міліметрів. Для тієї самої мішені, чим менший розмір частинок мішені, тим швидше швидкість розпилення мішені; крім того, мішень з меншою різницею розмірів частинок може розпилювати плівку з більш рівномірною товщиною. Дослідження показало, що якщо розмір зерна титанової мішені контролюється нижче 100 мкм, а варіація розміру зерна підтримується в межах 20%, якість напиленої плівки можна значно покращити.

--кристалографічна орієнтація

Титан має щільну гексагональну структуру. Оскільки атоми титанової мішені легко розпилюються вздовж гексагонального щільно упакованого напрямку атомів під час розпилення, щоб досягти вищої швидкості розпилення, кристалічна структура мішені може бути змінена шляхом зміни методу. щоб збільшити швидкість розпилення. Кристалографічний напрямок титанової мішені також має великий вплив на однорідність товщини напиленої плівки.

--Структурна однорідність

Структурна однорідність також є одним із важливих показників для перевірки якості мішені. Для титанових мішеней необхідна не тільки площина розпилення мішені, але також композиція нормального напрямку, орієнтація зерна та однорідність середнього розміру зерна площини розпилення. Тільки таким чином титанова мішень може отримати титанову плівку рівномірної товщини, надійної якості та постійного розміру зерна протягом усього терміну служби.

Випадок специфікації

Швидкість обертання: мішень має обертатися зі швидкістю до кількох тисяч об/хв, щоб досягти рівномірнішої швидкості осадження та подовжити термін служби мішені.

Охолодження: мішень із титанової трубки має охолоджуватися водою, щоб розсіювати тепло, що утворюється під час процесу осадження, і запобігати пошкодженню мішені.
Опорна пластина: титанова опорна пластина зазвичай використовується для підтримки циліндра, що обертається, і забезпечує електричний контакт.
Метод склеювання: мішень зазвичай скріплюється з опорною пластиною за допомогою дифузійного склеювання або інших високоміцних методів склеювання для забезпечення хорошої тепло- та електропровідності.
Чистота: титанові обертові мішені для магнетронного розпилення повинні мати високий рівень чистоти, щоб мінімізувати домішки в нанесених плівках і забезпечити стабільну продуктивність. Рівень домішок має бути менше 1000 частин на мільйон (ppm) для більшості застосувань.

Загалом технічні характеристики титанової обертової циліндричної мішені відрізнятимуться залежно від конкретних вимог застосування, і мішень можна налаштувати відповідно до цих потреб.

Популярні Мітки: Титанові поворотні мішені для магнетронного розпилення, мішені з титанової трубки